基于超导纳米线单光子探测器的阴极荧光探测系统及方法

本申请提供一种基于超导纳米线单光子探测器的阴极荧光探测系统及方法，涉及阴极荧光探测技术领域，该系统包括：阴极荧光光谱处理单元，用于接收电子显微镜产生的阴极荧光CL信号，并对CL信号进行预处理后，将处理后的信号传输至超导纳米线单光子探测器中进行探测；超导纳米线单光子探测器，用于对处理后的信号进行探测，并将产生的探测信号输入到数据采集与处理单元进行后处理；数据采集与处理单元，用于对接受到的探测信号进行后处理，生成处理结果。本申请提供的基于超导纳米线单光子探测器的阴极荧光探测系统及方法，通过将超导纳米线单光子探测器应用到阴极荧光探测中，极大地提高了阴极荧光的探测灵敏度、波段覆盖和探测时间分辨率。