有效

半导体元件

张金、魏洋、姜开利、范守善
清华大学
张金机构 暂无
技术领域 暂无
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种半导体元件,其包括一半导体结构,所述半导体结构包括一P型半导体层及一N型半导体层,并定义一第一表面及与第一表面相对的第二表面;一碳纳米管,该碳纳米管设置于半导体结构的第一表面;一导电膜,该导电膜通过沉积方法形成于所述半导体结构的第二表面,使半导体结构设置于碳纳米管和导电膜之间,碳纳米管、半导体结构与导电膜相互层叠形成一多层立体结构。