有效

碳纳米管阵列电学特性的原位测量装置

王江涛、金翔、柳鹏、魏洋、姜开利、范守善
清华大学
王江涛机构 暂无
技术领域 暂无
金翔机构 暂无
技术领域 暂无
柳鹏机构 暂无
技术领域 暂无
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种碳纳米管阵列电学特性的原位测量装置,包括一反应室、一基底、一第一电极、一连接线、一第二电极、一支撑结构、一测量表和若干导线;所述基底、第一电极、连接线、第二电极和支撑结构均设置于所述反应室的内部;所述测量表位于反应室的外部,且该测量表通过导线与所述第一电极和第二电极电连接;所述第一电极具有一空腔;所述支撑结构、第二电极和连接线相互配合,使基底悬空于所述空腔内。本发明还涉及一种碳纳米管阵列电学特性的原位测量方法。