有效
场发射电子源阵列的制备方法
郭
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柳鹏机构 暂无
范
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摘要
本发明提供一种场发射电子源阵列的制备方法,包括以下步骤:提供一碳纳米管线状结构;在所述碳纳米管线状结构的表面包覆一绝缘层;在所述绝缘层的表面间隔设置多个导电环,所述导电环两端具有相对的两环面,形成一场发射电子源预制体;将所述多个场发射电子源预制体并排对齐设置,形成一场发射电源阵列预制体;切割所述场发射电子源阵列预制体,使所述每一碳纳米管线状结构从切割形成的断口处暴露出来,形成多个场发射电子源。



