发光二极管的制备方法

本发明提供一种发光二极管的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，所述基底具有一外延生长面；在所述外延生长面生长一第一半导体层；在所述第一半导体层表面设置一图案化的掩模层，所述图案化的掩模层包括多个并排延伸的条形凸起结构；刻蚀所述第一半导体层，使所述掩模层中相邻的多个条形凸起结构依次两两闭合；去除所述掩模层，在所述第一半导体层远离基底的表面形成多个M形三维纳米结构；在所述多个三维纳米结构表面形成一活性层及第二半导体层，所述活性层与第一半导体层接触表面与所述图案化的表面相啮合；去除所述基底，暴露出第一半导体层表面；在暴露的第一半导体层表面设置一第一电极；以及设置一第二电极与所述第二半导体层电连接。