失效

电离规

肖林、陈丕瑾、胡昭复、魏洋、刘亮、范守善
清华大学
肖林机构 暂无
技术领域 暂无
陈丕瑾机构 暂无
技术领域 暂无
胡昭复机构 暂无
技术领域 暂无
魏洋机构 暂无
技术领域 暂无
刘亮机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种电离规,该电离规包括线状阴极、阳极和离子收集极,该阳极环绕于线状阴极外侧,离子收集极环绕于阳极外侧,其中,线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。该场发射薄膜优选为碳纳米管。该电离规利用碳纳米管的场发射性质发射电子,从而测量气体压强,因此具有结构简单、稳定性好、低功耗、低放气率等优点,适用于对温度或光敏感的真空系统。