失效

碳纳米管制备方法

刘锴、姜开利、范守善
清华大学
刘锴机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明涉及一种碳纳米管制备方法,其包括以下步骤:提供一基底,该基底的一表面沉积有一催化剂层;将所述基底置于一石英舟内,该石英舟具有一开口;将所述石英舟置于一反应炉内,该反应炉包括一进气口,使所述石英舟的开口朝向该进气口;加热使反应炉的温度达到一预定温度,并通入反应气体利用化学气相沉积法在基底上生长碳纳米管,生长的碳纳米管根部与催化剂接触;待生长结束后,通过一导气装置引入载气气体到所述石英舟内,以降低该石英舟内的碳源气浓度,从而使碳纳米管停止生长;在外力作用下分离碳纳米管与催化剂层,使碳纳米管与形成在基底表面的催化剂层分离,从而得到开口碳纳米管或其阵列。

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