失效
场发射装置及其制造方法
魏
魏洋机构 暂无
刘
刘亮机构 暂无
范
范守善机构 暂无
摘要
本发明涉及一种场发射装置及其制造方法,用于解决现有技术中场发射装置的相邻栅极之间易短路的问题。本发明提供的场发射装置包括绝缘支撑体和形成于该绝缘支撑体的至少两个栅极。相邻的两栅极表面及位于该两栅极之间的绝缘支撑体表面延伸覆盖有一绝缘层。本发明还提供有上述场发射装置的制造方法。
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本发明涉及一种场发射装置及其制造方法,用于解决现有技术中场发射装置的相邻栅极之间易短路的问题。本发明提供的场发射装置包括绝缘支撑体和形成于该绝缘支撑体的至少两个栅极。相邻的两栅极表面及位于该两栅极之间的绝缘支撑体表面延伸覆盖有一绝缘层。本发明还提供有上述场发射装置的制造方法。