一种碳纳米管阵列结构及其生长方法

本发明揭示一种碳纳米管阵列结构，其包括一基底、形成于基底上的催化剂合金颗粒、以及从催化剂合金颗粒上长出的碳纳米管阵列，该催化剂合金颗粒含有影响碳纳米管生长速度的材料，该调节材料包含铜或钼，所生长的碳纳米管阵列具有向一特定方向弯曲的特性。本发明同时还揭示了一种生长上述碳纳米管阵列结构的方法。其步骤包括：(1)在基底的表面形成一催化剂层，该催化剂层的厚度均匀一致；(2)在催化剂层上沉积至少两种影响碳纳米管长生速度的调节材料，该调节材料包含铜或钼；(3)在含氧气氛中退火，使催化剂层氧化成为催化剂合金颗粒；(4)通入碳源气，生长碳纳米管。