物流无人机专用高精度超声波 MEMS 传感器芯片研发

针对物流无人机探测性能与体积功耗、系统集成与可靠性、复杂环境与测量精度的三大矛盾，开展高性能 PMUT 芯片设计与制造、低功耗高精度专用电路设计、环境抗干扰与智能信号处理等技术研发，成功流片并验证一款专用超声波 MEMS 传感器芯片，其核心性能达到：探测距离≥ 10 米（对平面目标）、测距精度 ±1 厘米 或 < 0.5% 量程、单次测量平均功耗 < 10 mW、芯片级封装，体积小于 5mm x 5mm x 2mm、在 - 20°C 至 +65°C 温度及典型风噪环境下功能正常的目标。